Sursa: mtiinstruments
ASTM F657:
Distanța printr-o undă între punctele corespunzătoare de pe suprafața din față și cea din spate. Grosimea este exprimată în microni sau mil (milimi de un inci).
Variația de grosime totală (TTV)
ASTM F657:
Diferența dintre valorile maxime și minime ale grosimii întâlnite în timpul unui model de scanare sau a unei serii de măsurători de punct. TTV-ul este exprimat în microni sau mil (milimi de centimetru).
Figura de mai sus arată o placă plasată între două sonde de măsurare fără contact. Prin monitorizarea modificărilor între fața sondei superioare și suprafața oblică superioară (A) și fața sondei inferioare și suprafața plafonului inferior (B), se poate calcula grosimea. În primul rând, sistemul trebuie calibrat cu o placă pe grosimea cunoscută (T w ). Zona de grosime cunoscută este plasată între sonde și o sondă superioară pentru a obține decalaj (A) și este obținută o sondă inferioară pentru golul de plafon (B). Golul total (Gtotal) dintre sondele superioare și inferioare este apoi calculat după cum urmează:
G total = A + B + T w
Odată cu sistemul calibrat, se pot măsura astele de grosime necunoscută. Când placa este plasată între sonde, se obține o nouă valoare a A și B. Grosimea se calculează după cum urmează:
T w = G total - (A + B)
În timpul unei scanări automate a plafonului, se iau și se păstrează o serie de măsurători punctuale. După finalizarea scanării, TTV este calculat după cum urmează:
TTV = T max - T min
FĂRĂ CONTACT MĂSURAREA BOW
ASTM F534 3.1.2:
Abaterea punctului central al suprafeței mediane a unei placi libere, neclamate, de la planul de referință al suprafeței mediane, stabilită cu trei puncte distanțate în mod egal pe un cerc cu un diametru o cantitate specificată, mai mică decât diametrul nominal al plafonului.
Suprafața mediană:
Locusul punctelor din placa echidistantă între suprafețele din față și din spate. Atunci când se măsoară și se calculează arcul, este important de reținut că trebuie cunoscută suprafața mediană a locației. Prin măsurarea abaterilor suprafeței mediane, se elimină din calcul variații de grosime localizate în punctul central al plafonului.
Mai sus arată relația suprafeței mediane a plafonelor între cele două fețe ale sondei unde:
D = Distanța dintre fața sondei superioară și inferioară
A = Distanța dintre sonda superioară și suprafața oblică superioară
B = Distanța de la sonda inferioară la suprafața plafonului de jos
Z = Distanța dintre suprafața mediană a waferului și punctul la jumătatea distanței dintre sonda superioară și inferioară (D / 2)
Pentru a determina valoarea lui Z în orice locație a plafonului, există două ecuații:
Z = D / 2 - A - T / 2 și Z = -D / 2 + B + T / 2
Rezolvând ambele ecuații pentru Z, valoarea poate fi determinată pur și simplu prin:
Z = (B - A) / 2
Deoarece arcul se măsoară doar în punctul central al oblicului, se calculează un plan de referință în trei puncte (3) în jurul marginii placii. Valoarea arcului este apoi calculată prin măsurarea locației suprafeței mediane din centrul plafonului și determinarea distanței acesteia față de planul de referință. Rețineți că arcul poate fi un număr pozitiv sau negativ. Pozitiv indică punctul central al suprafeței mediane este peste planul de referință în trei puncte. Negativă punctul central al suprafeței mediane este sub planul de referință în trei puncte.
MĂSURAREA RĂZBOIULUI PENTRU INDUSTRIE SOLARE
ASTM F1390:
Diferențele dintre distanțele maxime și minime ale suprafeței mediane a unei placi libere, neclamate, dintr-un loc de referință. Ca și arcul, urzeala este o măsurare a diferențierii între suprafața mediană a unei placi și a unui plan de referință. Warp folosește, însă, întreaga suprafață mediană a plafonului în loc de poziția din punctul central. Analizând întreaga placă, urzeala oferă o măsurare mai utilă a formei adevărate a napolitanei. Locația suprafeței mediane este calculată exact așa cum este pentru arc și arătat mai sus. Pentru determinarea urzei, există două opțiuni pentru construcția planului de referință. Unul este același plan în trei puncte în jurul marginii placii. Celălalt constă în efectuarea unui calcul de potrivire a cel puțin pătrate a datelor de suprafață mediane obținute în timpul scanării de măsurare. Urzeala este apoi calculată găsind abaterea maximă de la planul de referință (RPD max ) și diferențierea minimă de planul de referință (RPD min ). RPD max este definit ca cea mai mare distanță deasupra planului de referință și este un număr pozitiv. RPD min este cea mai mare distanță sub planul de referință și este un număr negativ.
Figura de mai sus este o ilustrare a calculului de urzeală. În acest exemplu, RPDmax este 1,5 și este prezentat ca distanța maximă a suprafeței mediane deasupra planului de referință. RPDmin este - 1,5 și este prezentată ca distanța maximă a suprafeței mediane sub planul de referință. Notă urzeala este întotdeauna o valoare pozitivă.
Urzeală = 1,5 - (-1,5) = 3
De asemenea, ilustrează utilitatea de a lua atât citirea arcului cât și urzeala. Suprafața mediană a plafonului arătat intersectează planul de referință în centrul oblei, prin urmare, măsurarea arcului ar fi zero. Valoarea calculată pentru urzeală este mai utilă în acest caz, deoarece îi spune utilizatorului că placa are nereguli de formă.